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Inhaltsangabe: Problemstellung: In der vorliegenden Arbeit wird der Aufbau einer ERDA-Detektoranlage zur Bestimmung tiefenaufgeloester Konzentrationsprofile dunner Schichten beschrieben. Die Anlage wurde in zahlreichen Messungen mit Schwerionenstrahlen und Spaltfragmentquellen getestet. ERDA (Elastic Recoil Detection Analysis) ist eine kernphysikalische Untersuchungsmethode, die auf der elastischen Streuung schwerer Ionen mit den Atomen einer dunnen Festkoerperprobe basiert. Die Information uber die Tiefenprofilverteilung im Target wird mit ERDA durch die Spektroskopie der aus der Probe ausgestossenen Ionen gewonnen. Eine Aufloesung von atomaren Monolagen ist dabei prinzipiell moeglich. Gang der Untersuchung: Der erste Teil der Arbeit befasst sich mit der Motivation fur das ausgewahlte Thema. Im zweiten Teil der Arbeit werden die theoretischen Grundlagen der ERDA-Analyse formuliert. Im einzelnen wird auf die mit dieser Methode realisierbare Isotopentrennung und Bestimmung der Tiefenkonzentrationsprofile eingegangen. Der dritte Teil der Arbeit befasst sich mit dem Aufbau und der Funktionsweise eines DE-E-Detektorteleskops. Neben der Energiemessung ermoeglicht ein Teleskop eine kernladungsspezifische Elementtrennung. Der funfte Teil der Arbeit zeigt den Aufbau einer ERDA-Messapparatur am Tandembeschleuniger in Koeln. Anschliessend werden erste Experimente prasentiert. ERDA stellt eine zuverlassige und auch fur industrielle Anwendungen sehr interessante Methode dar. Von Korrosionsforschung bis zur Chipherstellung finden sich Einsatzgebiete von ERDA. Der Zugang zu einem Ionenbeschleuniger kann durch eine Kooperation mit ausgewahlten Universitaten, die uber Beschleunigerlabors verfugen, gewahrleistet werden. Inhaltsverzeichnis: Inhaltsverzeichnis: 1.Einleitung5 2.Theoretische Formulierung der Spektrometrie elastisch gestreuter Targetionen9 2.1Teilchendiskriminierung mit der ERDA-Technik9 2.2Tiefenaufgeloeste Konzentrationsbestimmungen14 3.Allgemeine Grundlagen fur
