Modellierung Und Simulation Nichtlinearer Effekte in Kapazitiv Gekoppelten Hochfrequenzplasmen

Die Plasmatechnik nimmt als Querschnittstechnologie eine wichtige Stellung in vielen Branchen der High-Tech-Industrie ein. Neben der klassischen Anwendung bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen ergeben sich zunehmend neue Einsatzgebiete u. a. in der Oberflachentechnik, der Automobil- und Textilindustrie soa wie in der Biomedizintechnik. Insbesondere Hochfrequenzplasmen sind fur die geu nannten Bereiche von zentraler technologischer Bedeutung. In dieser Arbeit wird das nichtlineare Verhalten von kapazitiv gekoppelten Hochfrequenzplasmen untersucht. Ausgehend von allgemeinen Konzepten zur Modellierung von Niedertemperaturplasmen werden spezialisierte Modelle zur Analyse der Hochfrequenzdynamik entwickelt. An Hand von Vergleichen mit Experimenten und einer Vielzahl von Simulationen wird der Einfluss von nichtlinearen Effekten auf die Dynamik der Entladung untersucht und auf diese Weise ein Beitrag zum vertieften Verstandnis a der Energieeinkopplung in Hochfrequenzplasmen geleistet.