Polysilizium-Heaterstrukturen fur den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlassigkeitstests auf Waferebene

Bachelorarbeit aus dem Jahr 2011 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1, Hochschule Mittweida (FH) (Elektro- und Informationstechnik), Sprache: Deutsch, Abstract: Diese Bachelorarbeit soll die Grundlage fur hochbeschleunigte Zuverlassigkeitstests auf Waferebene unter Verwendung von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium bilden. Nach einer Einfuhrung in die Zuverlassigkeitstheorie wird eine Auswahl an Zuverlassigkeitstest vorgestellt. Diese sind momentan, durch den Einsatz von Hot-Chuck’s, noch recht zeitaufwandig und verlangen daher nach einer alternativen Warmequelle. Der in dieser Arbeit vorgestellte Ausweg beschreibt einen Polysilizium-Widerstand direkt in der zu beheizenden Struktur. Weiterhin wird die Warmeausbreitung durch thermische Simulationen dargestellt. Am Ende dieser Arbeit wird noch die moegliche Temperaturmessung an solchen Teststrukturen vorgestellt.