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Wohl das auffalligste Charakteristikum der Entwicklung der mo- dernen Elektronik ist der kontinuierliche Trend zu einer Mi- niaturisierung der Bauelemente und zu einer Integration der Schaltungen in einem einzigen Halbleiterkristall. Der Einfluss der integrierten Schaltungen ist in zunehmendem Mass in nahezu allen Bereichen des wirtschaftlichen Lebens zu spuren. Trotz- dem ist in deutscher Sprache nur wenig Literatur erhaltlich, die als Einfuhrung in das Gebiet der integrierten Schaltungen geeignet ware. Mit dem vorliegenden Skriptum wird versucht, diesem Mangel abzuhelfen. Das Skriptum ist in erster Linie zum Gebrauch neben einer Vor- lesung gedacht, die sich uber zwei Semester in zwei Wochenstun- den an Studierende der Elektrotechnik etwa ab dem 6. Semester wendet. Da das Skriptum moeglichst wenig Bezug auf weiterfuhren- de Literatur nimmt, sollte es auch fur diejenigen geeignet sein, die beruflich an integrierten Schaltungen interessiert sind und uber einige Grundkenntnisse der Festkoerperphysik ver- fugen. Das Skriptum befasst sich vorwiegend mit den technologischen Aspekten der Herstellung integrierter Schaltungen. Da aber ei- ne enge Beziehung zum Schaltungsentwurf besteht, werden auch die Schaltungskonzepte beschrieben, die fur integrierte Schal- tungen von besonderer Wichtigkeit sind oder (wie die superinte- grierten Schaltungen, Kap. 4.4) durch sie uberhaupt erst reali- sierbar werden. Gemass seiner uberra enden wirtschaftlichen Be- deutung nimmt die Behandlung des Halbleiters Silizium den bei weitem groessten Teil des Skriptums ein. Daneben werden auch In- tegrationsformen auf Galliumarsenid und magnetischen Werkstof- fen gestreift (Kap. 7), die fur zUkunftige Anwendungen gute Aussichten bieten.
