Lehrbuch Mikrosystemtechnik

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Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunachst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren fur Mikrokomponenten, bevor die Konfektionierung der Mikrokomponenten erlautert und ein Einblick in die Mess- und Pruftechnik von Mikrosystemen gegeben wird. Abschliessend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Zu allen Kapiteln und groesseren Abschnitten gibt es Zusammenfassungen, eine UEbersicht uber wichtige Schlusselbegriffe sowie Hinweise auf weiterfuhrende Literatur. Dadurch ist ein effizienter Einsatz des Buchs als Lehr- und Nachschlagewerk garantiert.