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Add to list Added to list Prozesstechnologie: Fertigungsverfahren Fur Integrierte Mos-Schaltungen
Gunter Schumicki,Peter Seegebrecht
Prozesstechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunachst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturubertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluss daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu…
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