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      Modellierung Von Qualitats- Und Effektivitatsbestimmenden Mechanismen Beim Laserabtragen

      Gert Callies

      1. Ausgangslage Seit der Realisierung des ersten Rubinlasers durch Maimon im Jahr 1960 eroffnete die ra- sante Entwicklung von unterschiedlichen Laserstrahlquellen hinsichtlich ihrer Pulslange, Strahlqualitat, Wellenlange, Repetitionsrate und der mittleren…

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