Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her?

Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik uber die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit grosser Wirkung: die einzelnen Komponenten koennen einige Mikrometer gross sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erlautert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zukunftigen Trends dieser Schlusseltechnologie ein.