Die Mikrosystemtechnik gilt als eine der Schlusseltechnologien des 21. Jahrhunderts. Dieses Fachbuch tragt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen Rechnung und gibt dem Leser einen anschaulichen Einstieg in die faszinierende Welt dieser Technik. Hochaktuelle Anwendungen aus der Praxis von komplexen Mikrosystemen zeigen, wie sich miniaturisierte Funktionselemente auf kleinstem Raum integrieren lassen. Das umfangreiche Literaturverzeichnis ist dabei eine wertvolle Hilfe. Dem Fachmann aber auch Studierenden dient das Buch als Nachschlagewerk fur zahlreiche technologische Fragestellungen. Diese vollstandig uberarbeitete und erweiterte Auflage enthalt neue Unterkapitel zu Lab-on-a-Chip-Mikrosystemen, neuen Substratmaterialien und zur Laser-Mikrostrukturierung.